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椭偏仪——SE500

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简介


SE500
椭偏仪是一种利用光的偏振态变化来进行薄膜性质表征的仪器,主要用来测量薄膜材料的厚度、NK参数等性质。椭偏仪的主要原理是将自然光(紫外光、可见光以及红外光)变成完全偏振光后通过一定角度入射到样品上,偏振光进入样品介质后会反射回到椭偏仪检偏器内,由于样品介质会对偏振光的偏振态发生改变,而这种改变会被椭偏仪精确测量,椭偏仪就是利用这个介质对偏振光性质改变的原理来表征介质的性质的。
SE500型号采用双光谱仪耦合实现250-1700nm超长波段的探测,可实现对材料紫外、可见和红外波段的全覆盖测量研究,同时可搭配自动平台扫描、自动变角、微光斑探测以及平台加热等功能满足不同应用需求。

系统配置:

 探测器:阵列探测器,

光源:高功率的DUV-Vis-NIR复合光源

软件:TFProbe 3.3版本的软件

入射角度变化:手动调节

 测量种类:薄膜厚度、折射率和消光系数以及多层膜堆叠

计算机:Intel双核处理器、19”宽屏LCD显示器

电源:110–240V AC/50-60Hz,6A

保修:一年的整机及零部件保修

 

规格参数


波长范围:250nm到1700 nm

光斑尺寸:1mm至5mm可变

样品尺寸:直径可达200mm

测量厚度范围*:〜30μm

测量时间:约1秒/位置点

入射角范围:20到90度,5度间隔

 重复性误差*:小于1 Ǻ

 

可选项配置:

用于反射的光度测量或透射测量;

用于测量小区域的微小光斑;

用于改变入射角度的自动量角器;

X-Y成像平台(X-Y模式,取代ρ-θ模式)

加热/致冷平台;

样品垂直安装角度计;

波长可扩展到远DUV或IR范围;

扫描单色仪的配置

联合MSP的数字成像功能,可用于对样品的图像进行测量等。

 

其他选项配置:

用于玻璃基底测量的特殊样品架

用于观察样品区的可视模块

加热或制冷平台

可用于实时在线测量

其他尺寸的样品台

用于 Liquid Cell 的特殊配置

用于单波长或窄波段探测的单色扫描仪配置

 

相关产品


光谱反射分析系列:SR100、SR300、SR500等

微光斑分析系列:MSP100、MSP300、MSP500等

椭偏仪系列:SE200BA、SE200BM等

自动扫描测试平台:M100、M150、M200等

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SE500简介
椭偏仪是一种利用光的偏振态变化来进行薄膜性质表征的仪器,主要用来测量薄膜材料的厚度、NK参数等性质。椭偏仪的主要原理是将自然光(紫外光、可见光以及红外光)变成完全偏振光后通过一定角度入射到样品上,偏振光进入样品介质后会反射回到椭偏仪检偏器内,由于样品介质会对偏振光的偏振态发生改变,而这种改变会被椭偏仪精确测量,椭偏仪就是利用这个介质对偏振光性质改变的原理来表征介质的性质的。
SE500型号采用双光谱仪耦合实现250-1700nm超长波段的探测,可实现对材料紫外、可见和红外波段的全覆盖测量研究,同时可搭配自动平台扫描、自动变角、微光斑探测以及平台加热等功能满足不同应用需求。

波长范围:250nm到1700 nm

光斑尺寸:1mm至5mm可变

样品尺寸:直径可达200mm

测量厚度范围*:〜30μm

测量时间:约1秒/位置点

入射角范围:20到90度,5度间隔

 重复性误差*:小于1 Ǻ

 

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用于反射的光度测量或透射测量;

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波长可扩展到远DUV或IR范围;

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联合MSP的数字成像功能,可用于对样品的图像进行测量等。

 

其他选项配置:

用于玻璃基底测量的特殊样品架

用于观察样品区的可视模块

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暂未实现,敬请期待
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